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济南融恩机电设备有限公司
驱动晶圆加工
编辑:admin 浏览量:150 发布日期: 2019-02-13 10:51

处理用于高端芯片生产的昂贵晶片是一项特别复杂的工作。正是由于这个原因,晶片的制造主要是自动化的过程。蚀刻代表了最先进的芯片制造中的许多步骤之一。为此,将晶片放入特殊处理装置中并夹紧以进行进一步处理。带有集成运动控制器的电子换向微电机可实现三班制安全,免维护的操作。

如今,传感器元件需要批量生产。只有制造过程或多或少完全自动化,才有可能实现经济有效的制造。许多这些大规模产品被部署为安全关键过程,例如ABS传感器,加速度传感器等。因此,质量总是最重要的。直到最近,将硅晶片手动放入载体中并夹紧。只有精确定位的晶片才能在随后的制造过程中被蚀刻。由于晶圆在制造过程的这个阶段已经具有相当大的价值,因此必须非常小心地处理它们。全天候的轮班操作增加了整体生产成本。

质量至高无上

致力于追求卓越,电子生产处理系统专家INGENIA开发了一种专为芯片制造而设计的自动装配系统。为了解决定制生产流程面临的关键问题,INGENIA的产品系列已根据客户的具体要求量身定制。对处理系统的要求是巨大的:除了应对三班制运行的挑战外,部署的设备还必须长期保证安全和精确定位。为了最佳地蚀刻昂贵的硅晶片,重要的是将晶片以最高精度插入支架中,然后夹紧以进行进一步处理。
如果制造传感器或微机械芯片而不是标准IC,则对处理的要求变得更具挑战性。这里,与通常的存储器芯片或CPU相反,晶片在两侧被处理。这是将机械元件的复杂结构与必要的电子元件最佳结合的唯一方法。由于没有处理专家和驱动专家参与制造工厂,系统及其驱动器的安装和维护必须尽可能简单。目标是确保在系统运行时进行重新调整和优化,或者在中断后再次启动系统。此外,还设计了简单的操作以降低系统的操作成本。

安全插入

与每个自动化领域的情况一样,设计高度通用和适应性强的生产设备的原则至关重要。混合标准组件和特殊解决方案可实现最佳处理。该设备本身负责处理所有过程,从安排晶圆到安装承载架直到传送安装的框架。所有组装步骤都在一个级别执行。
存在用于插入晶片并存储插入盒中的晶片的机器人臂。为了确保安全性和精确定位,以及在电源故障期间符合CE标准,在这些关键业务机器组件中使用带集成制动器的电机。作为电子制造业的标准,高基本周期要求具有强大性能和扭矩的驱动器。尽管动态水平很高,但定位必须始终完美。将晶片对准并夹持在支架中的实际过程不需要过多的功率,但在定位阶段同样重要。毕竟,晶片必须准确地位于中心,以确保尽可能多地利用表面。最后,框架的螺钉不仅必须准确插入正确的位置,

 
快速安全 - 使用机器人手臂运输托架框架
 

灵活的驱动器

INGENIA使用耐磨电子换向直流电机,以满足这些苛刻的要求。由微电机专家FAULHABER开发的EC电机是完美的解决方案,拥有广泛的控制和变速箱技术。3056生产系列的电机是具有高于平均速度和扭矩要求的机器部件的理想选择。这些微型驱动器直径仅为30毫米,长度仅为56毫米,可产生高达21.5 mNm的连续扭矩(失速扭矩高达100mNm),输出功率为49 W.微电机可提供12,24的电源电压,36或48 VDC。可以通过部署30/1或38/1系列的可选齿轮箱来调整速度。动力小动力室可通过微电机的模拟霍尔传感器和MCBL 2805运动控制器进行控制,这是专门为这一最先进的产品系列量身定制的。3564型系列的大型电机可选配部署运动控制器。这使得直径为35 mm,总长度为83 mm的非常紧凑的驱动器 - 包括控制器。尽管尺寸紧凑,但EC微电机的功率输出为70 W,峰值扭矩为160 mNm(连续扭矩为50 mNm)。在这里,匹配的齿轮箱也可根据要求调整速度和扭矩。EC微电机的功率输出为70 W,峰值扭矩为160 mNm(连续扭矩为50 mNm)。在这里,匹配的齿轮箱也可根据要求调整速度和扭矩。EC微电机的功率输出为70 W,峰值扭矩为160 mNm(连续扭矩为50 mNm)。在这里,匹配的齿轮箱也可根据要求调整速度和扭矩。
在3564 K 024 BC型号中,电子换向伺服电机在高性能16位控制器的帮助下集成了高分辨率编码器和可编程运动控制器。速度调节范围为10至10,000 rpm,速度曲线,如斜坡,三角形,梯形或定位运动,分辨率可达1/1000转。还可以检查参考标记和限位开关。集成了发电机运行期间过温,过载或过电压的自我保护功能。除自主部署外,RS232接口还支持外部控制。多个电机可通过寻址在一个接口上运行。多路复用器板可用于此目的。
灵活的驱动概念和先进的系统解决方案的相互作用也为降低电子制造的生产成本提供了坚实的基础,同时提高了制造质量。最先进的驱动解决方案始终确保快速安全的操作。

 
步进电机确保晶片的精确对准

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